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微細加工プラットフォーム

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微細加工プラットフォーム

氏名研究ユニットキーワード
池田 直樹池田 直樹MANA
MANAファウンドリ
石川 信博石川 信博先端材料解析研究拠点
原子構造物性分野
実働環境計測技術開発グループ
高炉、還元、鉱石
大西 桂子大西 桂子先端材料解析研究拠点
極限計測分野
表面物性計測グループ
ナノ材料 薄膜・表面界面物性
小出 康夫小出 康夫役員応用物性・結晶工学 薄膜・表面界面物性 電子・電気材料工学 電子デバイス・電子機器 構造・機能材料
鷺坂 恵介鷺坂 恵介先端材料解析研究拠点
極限計測分野
表面物性計測グループ
走査トンネル顕微鏡、金属・半導体表面、原子分解能観察
津谷 大樹津谷 大樹技術開発・共用部門
ナノテクノロジー融合ステーション
ナノファブリケーショングループ
生田目 俊秀生田目 俊秀MANA
MANAファウンドリ
半導体CMOS、電子デバイス、ナノ薄膜形成技術、材料物性評価
三留 正則三留 正則MANA
ナノマテリアル分野
ナノチューブグループ
ナノ構造科学 ナノ材料・ナノバイオサイエンス 物性I 物性II
渡邊 誠渡邊 誠構造材料研究拠点
構造材料基盤技術分野
積層スマート材料グループ
ウォームスプレー, WC-Co, 耐熱コーティング(TBC), 溶射, FEM, テラヘルツ波, レーザAE, 非破壊評価, X線CT
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